Beispielanalyse Merkmalsauswahl für Halbleiter
15.10.2024
Ein komplexer moderner Halbleiterfertigungsprozess wird normalerweise ständig Überwachung von Signalen/Variablen, die von Sensoren und/oder Prozessmesspunkten Prozessmesspunkten gesammelt werden. Allerdings sind nicht alle diese Signale gleich einem bestimmten Überwachungssystem. Die gemessenen Signale enthalten eine Kombination aus nützlichen Informationen, irrelevanten Informationen sowie Rauschen. In der Regel haben Ingenieure eine viel größere Anzahl von Signalen als tatsächlich benötigt werden. Wenn wir jeden Signaltyp als Merkmal betrachten, dann kann die sogennannte Merkmalsauswahlt angewandt werden, um die relevantesten Signale zu identifizieren. Die Prozessingenieure können diese Signale dann verwenden, um Schlüsselfaktoren zu bestimmen, die zur Höhe des Ertrags im weiteren Verlauf des Prozesses beitragen. Dies ermöglicht eine Steigerung des Prozessdurchsatzes, die Zeit bis zum Lernen verkürzt und die Produktionskosten pro Einheit gesenkt werden. Diese Signale können als Merkmale zur Vorhersage des Ertragstyps verwendet werden. Und durch Analyse und und das Ausprobieren verschiedener Kombinationen von Merkmalen können wesentliche Signale, die den Ausbeutetyp auswirken, identifiziert werden.